什么是MEMS傳感器？

什么是MEMS傳感器？
zui近，一位美國華裔科學家宋金會實現(xiàn)了世界上*個50納米級的超高分辨率數(shù)字圖像傳感器的消息一經(jīng)披露，就引起了業(yè)界廣泛關注。其打破了這個領域數(shù)字圖像傳感器像素尺寸為1微米的行業(yè)極限，更引來電子、、航天、醫(yī)療、激光、信息存儲技術(shù)以及有關部門的合作興趣。
MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)，是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路，直至接口、通信和電源等集于一體的微型器件或系統(tǒng)。可理解為利用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機械，并將其與對應電路集成為一個整體的技術(shù)。所以它是以半導體制造技術(shù)為基礎發(fā)展起來的一種先進的制造技術(shù)平臺。
相對于傳統(tǒng)的機械，它們的尺寸更小，zui大的不超過一個厘米，甚至僅僅為幾微米，其厚度就更加微小。采用以硅為主的材料，電氣性能優(yōu)良，硅材料的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度與鋁類似，熱傳導率接近鉬和鎢。采用與集成電路（IC）類似的生成技術(shù)，可大量利用IC生產(chǎn)中的成熟技術(shù)、工藝，進行大批量、低成本生產(chǎn)，使性價比相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅度提高。
自1990年至今，MEMS傳感器的應用有三波演進：一開始內(nèi)建在汽車的安全氣囊中，而后則是用于消費性電子內(nèi)，第三波演進便是物聯(lián)網(wǎng)崛起。
在今后5到10年內(nèi)，消費類MEMS主要應用領域仍然是智能手機以及平板電腦。但是MEMS的應用領域?qū)⒅饾u擴大，包括正在興起的可穿戴設備、物聯(lián)網(wǎng)等。雖然可穿戴設備現(xiàn)在使用MEMS的比例還比較小，目前還不到10%，現(xiàn)在蘋果、三星、華為都已經(jīng)紛紛推出了一些可穿戴式產(chǎn)品，有點像當初的智能手機剛推出時的狀態(tài)，未來肯定會成為MEMS傳感器增長zui快的市場。